Filtro modulare ecologico per un efficiente controllo AMC e ridotto impatto sul carbonio negli impianti a semiconduttore
Nel processo di smart, molte fabbriche di semiconduttori stanno iniziando a scoprire che ci sono micro-contaminanti nell'ambiente invisibili ad occhio nudo, che sono sospesi nell'aria e causano grandi danni ai prodotti, ma i metodi di filtrazione tradizionali come HEPA o ULPA sono difficili da rimuovere efficacemente. È pertanto indispensabile che all'interno dell'impianto siano istituiti meccanismi di controllo intelligenti per affrontare il problema dell'AMC (Airborne Molecular Contamination).
Secondo l'esperto tecnico Pratt & Whitney, con lo sviluppo di processi avanzati a semiconduttore, la polvere sospesa nell'aria può essere efficacemente controllata attraverso metodi di filtrazione tradizionali. Tuttavia, altri microcontaminanti, organici o inorganici, hanno un impatto molto maggiore sulla resa del processo rispetto alla polvere. In altre parole, la tecnologia di controllo dell'inquinamento AMC ad alte prestazioni è uno degli elementi chiave nello sviluppo di processi avanzati 5nm da parte dei principali produttori di semiconduttori.
L'AMC è principalmente divisa in sostanze acide MA, sostanze saline MB, sostanze di condensazione MC e sostanze dopanti MD, e H ₂ O ₂、 O ₃ e altre sostanze non classificabili. Questi contaminanti molecolari gassosi, in termini di dimensioni, hanno bisogno solo di depositi molecolari 5~25 per riempire la larghezza della linea 5nm e causare danni al wafer, che è il più grande problema affrontato attualmente dall'industria dei semiconduttori.
Per risolvere questo problema, l'industria dei filtri chimici ha aggiunto un filtro chimico multi-effetto al filtro antipolvere tradizionale, cioè il tradizionale modulo filtro chimico 3 in 1. Tuttavia, questo ha portato a un grosso problema: per garantire un elevato livello di prestazioni, utilizzano una grande quantità di colla PU per sigillare i filtri all'interno del telaio metallico. Da un lato, l'adesivo PU stesso è una fonte di contaminazione, e dall'altro, non può essere sostituito perché il metallo e il materiale filtrante sono incollati insieme, quindi finirà solo come uno scarto composito.
Lo schermo combinato ecologico sviluppato da Ruizhi ha un aspetto molto diverso. Vorremmo riassumerne i numerosi vantaggi. In primo luogo, non utilizza affatto gomma PU, risparmiando così l'utente dal 3% al 5% del costo. In secondo luogo, il telaio è progettato come un tipo unico di estrazione o impilamento, che consente all'utente di sostituire solo un singolo strato di materiale filtrante senza rimuovere l'intero set di filtri, rendendolo relativamente leggero e sicuro. In terzo luogo, il telaio modulare è riutilizzabile e facile da sostituire, a differenza dei tradizionali filtri chimici 3 in 1. In quarto luogo, la riutilizzabilità dei mezzi filtranti e del telaio riduce il costo di acquisto di oltre il 40% e la quantità di rifiuti di oltre il 60%, il che a sua volta riduce l'accumulo di rifiuti e i costi di smaltimento successivi. In quinto luogo, i filtri rispettosi dell'ambiente consentono di utilizzare solo i mezzi filtranti come pezzi di ricambio e il telaio di essere utilizzato ripetutamente fino a quando non è usurato prima che debba essere ricaricato.
Con le 3R - Ridurre, Riutilizzare e Riciclare - come filosofia principale, Ruizhi aspira a raggiungere l'obiettivo di zero rifiuti. Il mondo sta affrontando gravi problemi ambientali come il cambiamento climatico, il riscaldamento globale e frequenti estremi climatici, quindi l'umanità non dovrebbe essere soddisfatta dell'"economia del riuso" (che genera ancora rifiuti), ma deve andare oltre per raggiungere una "economia del riciclaggio", con l'obiettivo di utilizzare il 100% delle materie prime e delle risorse e non generare più rifiuti, che è il nuovo pensiero che Filtration vuole portare nel settore.
Oltre allo sviluppo di filtri modulari, Ruizhi sta anche promuovendo attivamente un altro prodotto, il "Filtro chimico AMC integrato", che carica i materiali acidi, alcalini e TVOC adsorbenti e decomponenti in un materiale di panno di carbonio per creare un filtro chimico AMC integrato, che può rimuovere efficacemente gli inquinanti gassosi AMC come acido, alcalino, TVOC e ozono allo stesso tempo. Inoltre il prodotto è anche più conveniente e più ecologico ed efficiente dal punto di vista energetico per l'ambiente.
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