Filtro modulare ecologico per un efficiente controllo AMC e ridotto impatto sul carbonio negli impianti a semiconduttoreNel processo di smart, molte fabbriche di semiconduttori stanno iniziando a scoprire che ci sono micro-contaminanti nell'ambiente invisibili ad occhio nudo, che sono sospesi nell'aria e causano grandi danni ai prodotti, ma i metodi di filtrazione tradizionali come HEPA o ULPA sono difficili da rimuovere efficacemente. È pertanto indispensabile che all'interno dell'impianto siano istituiti meccanismi di controllo intelligenti per affrontare il problema dell'AMC (Airborne Molecular Contamination).
Secondo l'esperto tecnico Pratt & Whitney, con lo sviluppo di processi avanzati a semiconduttore, la polvere sospesa nell'aria può essere efficacemente controllata attraverso metodi di filtrazione tradizionali. Tuttavia, altri microcontaminanti, organici o inorganici, hanno un impatto molto maggiore sulla resa del processo rispetto alla polvere. In altre parole, la tecnologia di controllo dell'inquinamento AMC ad alte prestazioni è uno degli elementi chiave nello sviluppo di processi avanzati 5nm da parte dei principali produttori di semiconduttori.
L'AMC è principalmente divisa in sostanze acide MA, sostanze saline MB, sostanze di condensazione MC e sostanze dopanti MD, e H ₂ O ₂、 O ₃ e altre sostanze non classificabili. Questi contaminanti molecolari gassosi, in termini di dimensioni, hanno bisogno solo di depositi molecolari 5~25 per riempire